Вакуумное нанесение тонких пленок
Данилин Борис Степанович, Под общей редакцией Р.А.Нилендера
В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении тонких пленок.
Книга рассчитана на широкий круг лиц, занимающихся конструированием, монтажом и эксплуатацией вакуумного напылительного оборудования и получением тонких пленок.
Книга рассчитана на широкий круг лиц, занимающихся конструированием, монтажом и эксплуатацией вакуумного напылительного оборудования и получением тонких пленок.
साल:
1967
प्रकाशन:
Энергия
भाषा:
russian
पृष्ठ:
157
फ़ाइल:
DJVU, 4.62 MB
IPFS:
,
russian, 1967
Litres
क्या आप अपना बुक स्टोर जोड़ना चाहेंगे? support@z-lib.do पर हमसे संपर्क करें
फ़ाइल कन्वर्टर
अधिक खोज परिणाम
अधिक लाभ 
